Advanced Energy의 4100T 광섬유 온도계는 첨단 반도체 공정에서 온도 정확도와 제어 수준을 향상시킵니다



향상된 측정 정확도와 빠른 read rate를 갖춘 4100T 다채널 비접촉 광섬유 온도계를 market-leading모델인 OR4000T을 통해 쉽게 업그레이드할 수 있습니다

한국, 서울 - Media OutReach - 2021년 11월 24일 - Advanced Energy(나스닥: AEIS)는 고도의 엔지니어링, 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션 분야의 글로벌 리더로서 오늘 Sekidenko 의 4100T Pyrometer를 발표했습니다. 업계 최고의 Advanced Energy의 OR4000T를 대체하는 4100T 광섬유 온도계(OFT)는 첨단 반도체 및 박막 분야에 탁월하며, high accuracy, wide temperature range 및 다중 채널에서 동시에 높은 read rate 를 제공합니다..




"Advanced Energy의 Pyrometer는 업계 최고의 성능으로 인해 상위 반도체 OEM에서 사용되고 있다. 4100T는 업계 최고의 당사 OR4000T를 넘어서는 많은 개선으로 리더십을 더욱 확장시켜 고객이 타의 추종을 불허하는 수준의 공정 제어 및 제조 성과에 도달할 수 있도록 지원한다."라고 Advanced Energy의 마케팅 및 애플리케이션, 센싱 및 제어 담당 부사장인 Jeff Hebb는 말했습니다. 또 Jeff는 "다양한 기능을 가진  4100T는 OR4000T를 'drop-in' 방식으로 대체하여 기존 고객에게 매우 편리한 업그레이드를 제공한다. 또한 본 제품은 EtherCAT, 직렬 및 USB 통신도 지원한다."라고 덧붙였습니다.

 

4100T를 사용하여 최대 4가지 온도를 동시에 측정할 수 있으므로 멀티포인트 제어에 필요한 제어 박스의 수를 줄이고 form factor를 축소하며 비용 절감 효과를 제공할 수 있습니다. 채널당 최대 1kHz의 높은 read rate는 더 빠른 온도제어와 균일성을 가능하게 함으로써 신속한 열 처리, 레이저 어닐링, 원자층 증착 및 기타 첨단 증착 기술에 적용 가능 합니다.

 

적용 분야별 변경 가능한 파장을 갖춘 다채널 OFT는 가장 까다로운 온도 측정에 탁월한 정확도, 반복성, 안정성 및 빠른 read rate를 제공합니다. 기존에 사용되던 thermocouple  및 기타 접촉 센서의 사용은 웨이퍼와 물리적으로 접촉하면 열전달 효과로 인해 손상, 오염 또는 측정 오류가 발생할 수 있어  바람직하지 않습니다. 4100T는 해당제품에 접촉하지 않고 현장에서 ±1.5°C의 정확도로 온도를 직접 측정합니다. 이러한 잠재적인 접촉 측정 문제를 제거하는 것 외에도, 4100T는 웨이퍼가 이동 중이거나 매우 높은 온도 또는 높은 ramp rate로 처리되는 application 에서 최적의 솔루션이기도 합니다.

 

자세한 제품 정보와 기술 사양에 대해서는 다음 사이트를 방문하여 확인하십시오: https://www.advancedenergy.com/products/temperature-measurement/thermal-measurement-optical-pyrometers-power-controllers/semiconductorthin-film-pyrometers/sekidenko-4100t/.


Advanced Energy 소개
Advanced Energy 소개

Advanced Energy(나스닥: AEIS)는 임무 수행에 필수적인 적용 및 프로세스를 위해 고도로 설계된 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션의 설계 및 제조 분야의 글로벌 리더입니다. AE의 전력 솔루션을 사용하면 반도체 장비, 산업, 제조, 통신, 데이터 센터 컴퓨팅 서버 스토리지 및 건강 관리를 비롯한 광범위한 산업의 복잡한 적용에서 고객 혁신을 실현할 수 있습니다. 전세계 엔지니어링 노하우 및 대응력 있는 서비스 및 지원을 통해 당사는 기술 발전을 충족하고 고객을 위한 성장을 촉진하고 전력의 미래를 혁신하기 위해 협력적인 파트너십을 구축합니다. Advanced Energy는 전세계 고객을 위해 30년 이상 전력을 공급해 왔으며 미국 콜로라도 주 포트 콜린스에 본사를 두고 있습니다. 더욱 상세한 정보에 대해서는 다음 웹사이트를 방문하십시오: www.advancedenergy.com


Advanced Energy | 정밀성. 전력. 성능.

 

#AdvancedEnergy

來源:

Advanced Energy

類別:

Technology

發佈於

24 Nov 2021

過去的新聞稿

更多

立即聯繫 Media OutReach

立即聯繫我們